Innovation bedeutet die Nutzung und Verwertung unserer Forschungs- und Entwicklungsergebnisse durch Dritte. Im Vordergund steht dabei die Vernetzung von Forschung und Wirtschaft. Mit dem Technologietransfer kommt das HZB seiner Aufgabe nach, die Ergebnisse seiner Arbeit der Öffentlichkeit zur Verfügung zu stellen. Insbesondere der an der Bedarfslage der Wirtschaft orientierte Transfer von Wissen und technologischem Know-how des HZB an Unternehmen ist Anliegen des Technologietransfers. Hiermit sollen Innovationen angestoßen werden, die die Entwicklung neuer marktfähiger Produkte und Verfahren ermöglichen und wechselseitig Anregungen für weitere gegebenenfalls gemeinsame F&E Projekte geben. Hier erfahren Sie mehr.
Das AZM-Team unterstützt die Aktivitäten unserer industriellen Partner in allen Phasen des Aufbaus eines Mikrostrukturprozesses, angefangen bei der Entwicklung des Designs bis hin zur Produktion. Wir haben besondere Erfahrungen in der Röntgenlithographie und der dazu gehörenden Maskentechnologie. Aufgrund der hervorragenden Eigenschaften bildet Synchrotronstrahlung die ideale Grundlage für die Röntgenlithographie. Selbst ultradicke Photolacke (>500 µm) lassen sich so mit einer Auflösung bis in den Submikrometer-Bereich erfolgreich strukturieren. Damit ist Röntgenlithographie hervorragend geeignet zur Herstellung von Mikrostrukturen mit sehr hohen Aspektverhältnissen (HARMS, high aspect ratio micro structure). Hier erfahren Sie mehr.