Analytische Methoden und Probenpräparationsapparaturen

Dünnschicht-Labore
Dr. K. Ellmer

• Sputteranlagen (reaktives Magnetronsputtern)
• Aufdampfanlage
• Seebeckmessplatz
• Optischer Plasmaemissions-Monitor
• Energieauflösendes Plasma-Massenspektrometer
• Restgas-Massenspektrometer
• 4-Spitzenmessplatz
• Chemische Gasphasen Abscheidung
• Hall-Effekt-Messplatz

Material-Präparationslabor
Dr. S. Fiechter

• Katalysator- und Schichtsynthese in Durchflussöfen (Klappöfen mit eingelgten Quarzrohren)
• Temperöfen mit Temperatursteuerung (bis 1300°C)
• Mehrzonenöfen (bis 1300°C)
• Pumpstände zur Quarzglasampullen-Präparation unter verschiedenen Atmosphären
• Röntgenpulverdiffraktometer (XRD)
• Thermogravimetrische Analyse gekoppelt mit Massenspektroskopie
• Mikrowellenaufschluss
• Autoklav (500°C, 100bar)

Grenzflächen-Engeneering
Prof. H. J. Lewerenz

• ESCA-System
• Rastersonden-Mikroskopie (AFM, STM)
• Kombiniertes Elektrochemie/ UHV-Oberflächen-Analysesystem
• Elektrochemische Charakterisierungen (RDE, Impedanz)
• Elektrochemisches Rastermikroskop
• Brewster-Winkel-Spektroskopie