Mikrowellen-Scanner

Die Anwendung von Mikrowellen ermöglicht die kontaktlose und zerstörungsfreie Bestimmung elektrischer Eigenschaften von Halbleitern. Leider wird die örtliche Auflösung üblicherweise beschränkt von der eingestrahlten Wellenlänge (1mm bis einige cm). Dies trifft nicht zu für zeitaufgelöste Photoleitfähigkeitsmessungen im Mikrowellen-Frequenzbereich. Hier kann durch Fokussierung des optischen Anregungspulses die örtliche Auflösung bis auf 10 µm herabgesetzt werden. Außerdem können mit diesen Messungen auch die optischen Eigenschaften des Materials erfasst werden.
Dieses Verfahren wurde im HZB entwickelt.

Anwendungsbeispiele:

• Detektion der Effektivität und Homogenität von Antireflexionsschichten
• Erfassung der Homogenität der Volumenlebensdauer der Ladungsträger
• Qualitativ kann die Photosensitivität optoelektronischer Systeme ortsaufgelöst erfasst werden