Technologietransfer-Projekt: ILGAR

Titel: Neues Verfahren zur Herstellung dünner Beschichtungen

Industrie-Bereiche:
Chemie und Chemische Verfahrenstechnik, Elektronik und Optoelektronik, Schicht- und Oberflächentechnik

Stichworte:
Dünnschichtsolarzelle, Schichtsysteme

Kurzbeschreibung:
Der Ion-Layer-Gas-Reaction Prozeß (ILGAR) ist ein neues kostengünstiges, chemisches Verfahren zur Herstellung dünner homogener Schichten auf Substraten jeder Morphologie. Das Verfahren besteht aus den Prozeß-Schritten: 1. Aufbringen einer Lösung durch Tauchen oder Sprühen, 2. Trocknen, 3. Reaktion mit NH3/H2O (für Oxidschichten) bzw. Schwefelwasserstoff-Gas (für Sulfidschichten). Die Schichten mit Dicken ab wenigen Nanometern folgen der Substratfläche. Ihre optischen Eigenschaften sind steuerbar.

Letzte Änderung: 16.09.2014