Technologietransfer-Projekt: Magnetron-Sputtern

Titel: Reaktives Magnetron-Sputtern von CuInS2-Absorberschichten für Dünnschicht-Solarzellen

Industrie-Bereiche:
Plasmatechnik, Schicht- und Oberflächentechnik

Stichworte:
CuInS2

Kurzbeschreibung:
Entwicklung einer Technologie, die es erlaubt, durch reaktives und gepulstes Sputtern von Cu- und In-Targets in einem Verfahrensschritt CuInS2/Se2-Schichten herzustellen, deren Stöchiometrie durch die Sputterparameter gesteuert werden kann.

Letzte Änderung: 16.09.2014