Visitenkarte

Dr. Klaus Ellmer

Doktorarbeit

1980 Humboldt-Universität Berlin

Ionen-Energie-Verteilungen von niederenergetischen Ionen nach Durchgang durch dünne Schichten


Arbeitsgebiete

Abscheidung von Schichten für Dünnschichtsolarzellen, insbesondere von breitbandigen oxidischen Halbleitern (ZnO, SnO2, ITO, TiO2) und sulfidischen Verbindungshalbleitern (FeS2, WS2, MoS2, RuS2, CdS, CuInS2) mittels Magnetronsputterns. In situ-Charakterisierung des Plasmas und der Schichten durch energieaufgelöste Massenspektrometrie, Plasma-Emissionsspektroskopie und energiedispersive Röntgenbeugung (EDXRD) an Synchrotron-Strahlungsquellen.