Electron Beam-Induced Current (EBIC)
- dient zum Identifizieren von Defekten in Halbleitern
- der Elektronenstrahl induziert einen Strom in der Probe
- dieser Strom wird verstärkt und zur Bildgebung genutzt
- Defekte führen zur Rekombination von Ladungsträgern – der Bereich erscheint dunkel
- Messungen mit einer Erweiterung der Firma „point electronic“ möglich
- die Proben müssen kontaktierbar sein
EBIC-Aufnahme einer rekristallisierten Si-Oberfläche in 5000-facher Vergrößerung:
Korngrenzen als besonders gestörte Kristallbereiche erscheinen dunkel