PVcomB
Oberflächenanalytik
Neben der visuellen Oberflächeninformation aus dem Lichtmikroskop verfügt das PVcomB über ein Profilometer, ein konfokales Laserscanning Mikroskop und ein Rasterkraftmikroskop zur topographischen Analyse der Probenoberfläche in angepasster Skalierung.
Lichtmikroskop: Zeiss Axio Scope.A1
- Hell-/Dunkelfeld
- Objektive 5x, 10x, 50x und 100x
- hochauflösende AxioCam-Kamera
Konfokales 3D Laserscanning Mikroskop: KeyenceVK-X260
- Objektive: 10x , 20x , 50x , 150x
- Bildfeld: 10x: 1350 x 1012 µm², 150x: 90 x 76 µm²
- Max. Höhe Messobjekt: 28 mm / Höhenmessbereich: 7 mm
- Auflösung Kamera für Mikroskopie: bis 3072 × 2304
Konfokaler Laserscanbetrieb:
- Laser: 408 nm, 0,95 mW
- Scanauflösung: bis 2048 x 1536
- Wiederholgenauigkeit Höhenmessung: 20×: 40 nm, 50×: 12 nm, 150×: 12 nm
- Wiederholgenauigkeit Breitenmessung: 20×: 100 nm, 50×: 40 nm, 150×: 20 nm
Stitching von 100 Aufnahmen mittels motorisiertem Probentisch mit 10 x 10 cm² Verfahrbereich möglich.
Überlagerung von Mikroskopiebild mit Laserscanbild.
Profilometer: Bruker Dektak XT
- 5Å repeatability
- max. Scan-Länge 55mm
- aktiv schwingungsgedämpfter Tisch
- optional Vakuum am Chuck
Rasterkraftmikroskop: Park Systems XE70
- max. Probengröße 10 × 10 cm²
- Scanbereich bis 50 × 50 µm²
- Auflösung bis 4096 × 4096 pixel
- maximaler Höhenscanbereich 12 µm
- integriertes optisches Mikroskop
- contact / non-contact-Modus, elektrische Messungen