Oberflächenanalytik

Neben der visuellen Oberflächeninformation aus dem Lichtmikroskop verfügt das PVcomB über ein Profilometer, ein konfokales Laserscanning Mikroskop und ein Rasterkraftmikroskop zur topographischen Analyse der Probenoberfläche in angepasster Skalierung.

Lichtmikroskop: Zeiss Axio Scope.A1

• Hell-/Dunkelfeld
• Objektive 5x, 10x, 50x und 100x
• hochauflösende AxioCam-Kamera

Konfokales 3D Laserscanning Mikroskop: KeyenceVK-X260

• Objektive: 10x , 20x , 50x , 150x
• Bildfeld: 10x: 1350 x 1012 µm², 150x: 90 x 76 µm²
• Max. Höhe Messobjekt: 28 mm / Höhenmessbereich: 7 mm
• Auflösung Kamera für Mikroskopie: bis 3072 × 2304

Konfokaler Laserscanbetrieb:

• Laser: 408 nm, 0,95 mW
• Scanauflösung: bis 2048 x 1536
• Wiederholgenauigkeit Höhenmessung: 20×: 40 nm, 50×: 12 nm, 150×: 12 nm
• Wiederholgenauigkeit Breitenmessung: 20×: 100 nm, 50×: 40 nm, 150×: 20 nm

Stitching von 100 Aufnahmen mittels motorisiertem Probentisch mit 10 x 10 cm² Verfahrbereich möglich.
Überlagerung von Mikroskopiebild mit Laserscanbild.

Profilometer: Bruker Dektak XT

• 5Å repeatability
• max. Scan-Länge 55mm
• aktiv schwingungsgedämpfter Tisch
• optional Vakuum am Chuck

Rasterkraftmikroskop: Park Systems XE70

• max. Probengröße 10 × 10 cm²
• Scanbereich bis 50 × 50 µm²
• Auflösung bis 4096 × 4096 pixel
• maximaler Höhenscanbereich 12 µm
• integriertes optisches Mikroskop
• contact / non-contact-Modus, elektrische Messungen