1 PANalytical MPD for thin film analysis (LMC)

PANalytical MPD for thin film analysis

PANalytical X'Pert Pro MPD (multi-purpose diffractometer) hauptsächlich für Dünnschichtanalyse mittels streifenden Einfall (z.B. Phasenanalyse, Mikrostruktur). Umrüstbar auf Bragg-Brentano-Geometrie mit rotierendem Probenhalter für Pulverdiffraktometrie.

» Streifender Einfall (GIXRD, 2Theta scan) mit Parallelstrahl

  • (tiefenaufgelöste) Dünnschichtanalytik

» Bragg-Brentano-Geometrie (BB, Theta-2Theta scan) mit parafokussierendem Strahl

  • qualitative Stressanalyse von Dünnschichten
  • Pulverdiffraktometrie

» Röntgenreflektometrie (XRR)

  • Bestimmung von Schichtdicken, Oberflächenrauigkeit und Dichte

» Ausstattung

  • Röntgenspiegel für Parallelstrahl sowie zur Unterdrückung der Cu-K-beta- und Bremsstrahlung
  • fester Divergenzspalt für fokussierenden Strahl
  • (IR) Probenbühne für große Proben und zusätzliche Aufbauten
  • drehbare Probenbühne für Pulverproben
  • programmierbare XYZ-Probenbühne für laterale Scans und automatischen Probenwechsel
  • PIXcel 0D/1D Halbleiterdetektor
  • Xe 0D Proportionaldetektor mit parallelem Plattenkollimator

PANalytical X'Pert Pro MPD in PT005

PANalytical X'Pert Pro MPD in PT005

Links: GIXRD-Setup mit programmierbarer XYZ-Probenbühne. Rechts: Laterales Mapping an einer CZTSe Absorber-Dünnschicht.

Links: GIXRD-Setup mit programmierbarer XYZ-Probenbühne. Rechts: Laterales Mapping an einer CZTSe Absorber-Dünnschicht.

Links: GIXRD-Setup mit IR-Probentisch. Rechts: Tiefenaufgelöste Messung einer CISe-Absorberdünnschicht.

Links: GIXRD-Setup mit IR-Probentisch. Rechts: Tiefenaufgelöste Messung einer CISe-Absorberdünnschicht.

Links: Theta-2Theta-Setup mit fokussierender Optik und Pulverprobenträger (reflection-transmission spinner). Rechts: Beugungsdiagramm von einer LaB6-Referenzpulverprobe.

Links: Theta-2Theta-Setup mit fokussierender Optik und Pulverprobenträger (reflection-transmission spinner). Rechts: Beugungsdiagramm von einer LaB6-Referenzpulverprobe.