3 PANalytical MRD for epitaxy analysis (LMC)

PANalytical MRD für HR-XRD (Epitaxie)

PANalytical X'Pert Pro MRD-HR (materials research diffractometer-high resolution) mit Röntgenspiegel, Bartels-(4-fach-)Monochromator, Analysator und PIXcel 1D-Detektor für hochaufgelöste Röntgenbeugung.

» Röntgenspiegel, 4-fach Monochromator und Analysator für HRXRD (Linienfokus)

  • Epitaxie
  • reciprocal space maps
  • Reflektometrie

» Ausstattung

  • Eulerwiege (Omega, Phi, Psi)
  • PIXcel Liniendetektor
  • Röntgenspiegel
  • Bartels-(4-fach-)Monochromator
  • Analysator
  • Triple Axis

Hinweis:

Das Instrument ist sehr spezialisiert und erfordert einen höheren Aufwand für Justage, Messung und Auswertung. Bevor es gebucht wird, ist daher die Kontaktaufnahme mit dem Laborverantwortlichen notwendig.

PANalytical MRD für µXRD und Epitaxie-Analyse

PANalytical MRD für µXRD und Epitaxie-Analyse

Links: Extended setup mit Röntgenspiegel, Bartels-(4-fach-)Monochromator, Analysator und Triple Axis für hochauflösende XRD/XRR. Rechts: Reciprocal space map von GaPN auf Si-Substrat (RSM von H. Stange).

Links: Extended setup mit Röntgenspiegel, Bartels-(4-fach-)Monochromator, Analysator und Triple Axis für hochauflösende XRD/XRR. Rechts: Reciprocal space map von GaPN auf Si-Substrat (RSM von H. Stange).