PTB-EUV
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Publikationen
2021Fernández Herrero, Analía: Systematic analysis of the impact of line-edge roughness on the X-ray scattering pattern. , Berlin, Technische Universität, Diss., 2021
2018
Naujok, Philipp: Struktur und optische Eigenschaften von Bor-basierten Schichtsystemen für den BEUV-Spektralbereich. , Jena, Universität, Diss., 2018
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