Rößler, Robert: Transparente leitfähige Oxide (TCO) in Silizium-Heterostruktursolarzellen: Elektronische Eigenschaften des TCO/a-Si:H Kontakts. , 2013
Technische Universität Berlin
http://opus4.kobv.de/opus4-tuberlin/frontdoor/index/index/docId/5627
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Abstract:
In dieser Arbeit wurden transparente leitfähige Oxide (transparent conductive oxide, TCO), wie sie als Vorderseitenkontakt in a-Si:H/c-Si Solarzellen zum Einsatz kommen, hinsichtlich ihres Einflusses auf die Funktion der Solarzellen untersucht. Der Schwerpunkt liegt hierbei in der Untersuchung des Kontakts zwischen dem transparenten leitfähigen Oxid und der als Emitterschicht eingesetzten p-dotierten amorphen Siliziumschicht ((p)a-Si:H) sowie des Einflusses auf den angrenzenden amorph-kristallinen Silizium (a-Si:H/c-Si)- Heterokontakt. Hierfür wurden aluminiumdotierte Zinkoxidschichten (ZnO:Al), zinndotierte Indiumoxidschichten (ITO) und mittels Atomlagenabscheidung hergestellte undotierte Zinkoxidschichten auf a-Si:H analysiert.