Microscope Nikon @Cleanroom EMIL

Mikroskop

Das Lichtmikroskop Nikon LV150N ist ein vielseitiges optisches Mikroskop zur hochauflösenden Material- und Oberflächenanalyse. Es ermöglicht Untersuchungen mit Vergrößerungen bis zu 150× und verfügt über verschiedene Kontrastverfahren wie Hellfeld-, Dunkelfeld- sowie DIC-Mikroskopie (Differential Interference Contrast). Dadurch können sowohl Oberflächenstrukturen als auch feine topographische Unterschiede präzise dargestellt und ausgewertet werden.

Anwendungsbeispiele:
  • Analyse von Siliziumproben nach nasschemischer Ätzung
  • Untersuchung geätzter Oberflächenstrukturen
  • Erkennung und Bewertung von Oberflächendefekten und Fehlstellen
  • Charakterisierung von Ätzmustern und Kristallstrukturen
  • Mikroskopische Untersuchung von Materialhomogenität und Oberflächenmorphologie

Methoden

Lichtmikroskopie

Das Gerät kann genutzt werden

Labore

Cleanroom EMIL

Probentypen

Amorphous, Crystal, Multilayer/Film

Short description Optical microscope
Nutzung internal usage
Gebäude/Raum 14.54 (EMIL) /0013
Location Adlershof
Zusatzinformation In radiation protection area. Operation permitted only after completed laboratory training/instruction.
Geräteparameter
Microscope Type Upright reflected-light microscope
Observation Methods Brightfield, Darkfield, DIC, Polarization
Magnification 5x, 50x, 100x, 150x
Focusing System Coarse and fine focus adjustment
Fine Focus Resolution 1 µm graduation
Sample Applications Silicon wafer and material surface inspection

For more details and current status of the Instrument please contact the Instrument Scientist.