Microscope Nikon @Cleanroom EMIL
Mikroskop
Das Lichtmikroskop Nikon LV150N ist ein vielseitiges optisches Mikroskop zur hochauflösenden Material- und Oberflächenanalyse. Es ermöglicht Untersuchungen mit Vergrößerungen bis zu 150× und verfügt über verschiedene Kontrastverfahren wie Hellfeld-, Dunkelfeld- sowie DIC-Mikroskopie (Differential Interference Contrast). Dadurch können sowohl Oberflächenstrukturen als auch feine topographische Unterschiede präzise dargestellt und ausgewertet werden.
Anwendungsbeispiele:- Analyse von Siliziumproben nach nasschemischer Ätzung
- Untersuchung geätzter Oberflächenstrukturen
- Erkennung und Bewertung von Oberflächendefekten und Fehlstellen
- Charakterisierung von Ätzmustern und Kristallstrukturen
- Mikroskopische Untersuchung von Materialhomogenität und Oberflächenmorphologie
Methoden
Das Gerät kann genutzt werden
Labore
Probentypen
Amorphous, Crystal, Multilayer/Film
| Short description | Optical microscope |
| Nutzung | internal usage |
| Gebäude/Raum | 14.54 (EMIL) /0013 |
| Location | Adlershof |
| Zusatzinformation | In radiation protection area. Operation permitted only after completed laboratory training/instruction. |
| Geräteparameter | |
| Microscope Type | Upright reflected-light microscope |
| Observation Methods | Brightfield, Darkfield, DIC, Polarization |
| Magnification | 5x, 50x, 100x, 150x |
| Focusing System | Coarse and fine focus adjustment |
| Fine Focus Resolution | 1 µm graduation |
| Sample Applications | Silicon wafer and material surface inspection |
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