Profilometer Bruker Dektak XT @SCALA

Profilometer

Der Dektak XT ist ein 2D-Kontaktprofilometer, das zur Messung von Stufenhöhe, Rasterabstand und Oberflächenrauheit verwendet wird. Die Datenerfassung und -analyse des Systems wird durch die Software Vision 64 gesteuert.

Anwendungsbeispiele:
  • Ideal für ebene Oberflächen
Dektak XT Profilometer

  • Stylus-Kraft: 1 bis 15 mg

  • Spitze mit 12,5 µm Durchmesser

  • Manueller X/Y-Tisch für Proben bis 100 mm × 100 mm (4 × 4 Zoll), manuelle Nivellierung

  • Software: Vision 64 Betriebs- und Analysesoftware

  • Scanlängenbereich: 55 mm (2 Zoll)

  • Datenpunkte pro Scan: maximal 120.000

  • Maximale Probendicke: 50 mm (1,95 Zoll)

  • Maximale Wafergröße: 200 mm (8 Zoll)

  • Wiederholgenauigkeit der Stufenhöhe: < 5 Å, 1 Sigma bei 0,1 µm Stufe

  • Vertikaler Messbereich: 1 mm (0,039 Zoll)

  • Vertikale Auflösung: maximal 1 Å (bei 6,55 µm Bereich)

Methoden

Profilometer

Das Gerät kann genutzt werden

von externen Nutzern

Labore

SCALA

Probentypen

Amorphous, Crystal, Multilayer/Film

Short description
Nutzung
Gebäude/Raum 14.54 (EMIL)/ 0009
Location Adlershof
Zusatzinformation
Geräteparameter

For more details and current status of the Instrument please contact the Instrument Scientist.