RIE-Anlage @ Röntgenoptiken

Trockenätzanlage

Methoden

Making thin films, IR Spectroscopy

Das Gerät kann genutzt werden

nur von der Organisationeinheit

Labore

Röntgenoptiken

Probentypen

Multilayer/Film

Short description
Nutzung
Gebäude/Raum 14.51 / 3128
Location Adlershof
Zusatzinformation
Geräteparameter

For more details and current status of the Instrument please contact the Instrument Scientist.