ESL System @E-Beam Hololab
Elektronenstrahllithographiesystem
Methoden
Das Gerät kann genutzt werden
von HZB Nutzern
Labore
Probentypen
| Short description | |
| Nutzung | |
| Gebäude/Raum | 14.51 / 6110 |
| Location | Adlershof |
| Zusatzinformation | |
| Geräteparameter | |
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