PECVD @ SISSY

plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung

Methoden

Making thin films

Das Gerät kann genutzt werden

in Kooperation mit der Organisationseinheit

Labore

SISSY

Probentypen

Gas, Multilayer/Film

Short description
Nutzung
Gebäude/Raum 14.54 (EMIL)/007
Location Adlershof
Zusatzinformation
Geräteparameter

For more details and current status of the Instrument please contact the Instrument Scientist.