Schoengen, M.; Nüsse, N.; Probst, J. Kronast, F.; Barth, M.; Wolters, J.; Löchel, B.; Benson, O.: Einbettung von plasmonischen Elementen in photonische Kristall-Resonatoren für Licht-Materiekopplung. In: Proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2011 : 10. - 12. Oktober 2011, Darmstadt. 1 CD-ROM. Berlin: VDE-Verl., 2011. - ISBN 978-3-8007-3367-5, p. 102-105

Abstract:
Dieser Beitrag behandelt die Herstellung und Charakterisierung von photonischen Kristall-Kavitäten sowie die Einbettung von plasmonischen Elementen zur Licht-Materialkopplung in diese Strukturen. Wir stellen eine Herstellungsmethode für Hybridstrukturen vor, die wir in früheren Studien bereits postuliert haben. Es handelt sich hierbei um die Einbettung von Goldstrukturen mittels Overlaybelichtung bei der Elektronenstrahllithographie in Siliziumnitrid-Kristall-Resonatoren. Hierbei schaffen wir Positionierungsgenauigkeiten unter unserer Nachweisgrenze von unter 1 nm, sowie eine Strukturgenauigkeit von unter 25 nm. diese plasmonisch-photonischen Hybridstrukturen wurden mittels Photoemissions-elektronenmikroskopie untersucht und zeigten ein nichtlineares Verhalten.