Schulz, J.; Lemke, S.; Mohr, J.; Voigt, A.; Walter, M.; Worgull, M.: LIGA - Neues von Tiefenlithographie und Abformung. In: Proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2011 : 10. - 12. Oktober 2011, Darmstadt. 1 CD-ROM. Berlin: VDE-Verl., 2011. - ISBN 978-3-8007-3367-5, p. 142-145