Focused Ion Beam
Crossbeam Systeme verbinden die Abbildungs- und Analysemöglichkeiten eines Rasterelekronenmikroskops mit den Materialverarbeitungsleistungen einer Gallium-FIB. Ihre Möglichkeiten sind vielfältig und umfassen unter anderem 3D Tomographien im µm-nm Bereich, Nanostrukturierung sowie Herstellung von Lamellen für die Transmissionselektronenmikroskopie.
Orion NanoFab
- Helium- und Neonstrahl zur Erstellung feiner Strukturen unter 10nm
- Auflösung von 0,5 nm
- 5-10mal größere Tiefenschärfe im Vergleich zu FE-SEMs
- Untersuchung von nichtleitenden Probenoberflächen durch Elektronen Floodgun
- Geringe Sondenströme zum Schutz empfindlicher Materialien wie z.B. biologischen Proben oder Graphen