Institut Silizium-Photovoltaik
Reinraum @EE-IS - 12.8
Das Institut Silizium-Photovoltaik betreibt zwei Reinräume zur Durchführung von halbleitertechnologischen Prozessen auf der Basis von Silizium. Einer der beiden befindet sich im EMIL-Gebäude, der zweite im EE-IS-Gebäude 12.8.
Hierbei handelt es sich um einen ISO 7-Reinraum in dem die u. g. Prozesse an Siliziumwafern und Siliziumschichten auf Glassubstraten möglich sind, und die hauptsächlich zur Prozessierung von Solarzellen angewendet werden. Die prozessierbaren Substratgrößen liegen bei Kantenlängen zwischen 10 mm x 10 mm und 100 mm x 100 mm bzw. einem Durchmesser von 2“ bis 100 mm.