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  Lackner, J.M. ; Mukherji, D.; Waldhauser, W.; Wanderka, N.; Kardjilov, N.; Näth, O.; Jäger, S.; Schmitz, F.; Rösler, J.: Beschichtung von metallischen Membranen mittels Pulsed Laser Deposition. Vakuum in Forschung und Technik 20 (2008), p. 14-19

10.1002/vipr.200800359

Abstract:
Der Funktionalisierung von meso- und nanoporösen Werkstoffen mit Beschichtungen kommt zunehmend größere Bedeutung zu, kann dadurch deren Porenoberfläche z.B. biokompatibel oder katalytisch modifiziert werden. Derzeit sind dafür vor allem CVD-Verfahren im Einsatz, die vorliegende Arbeit zeigt jedoch am Beispiel der Pulslaserbeschichtung (PLD) - einem PVD-Verfahren - dass nanoporöse Membranen auf Basis Ni₃ Al und Porendurchmessern von etwa 200 nm mit hoher Schichtdicken-Homogenität und Schichthaftung von Diamant-ähnlichen Kohlenstoffschichten bei geringen Membrandicken beschichtet werden können.