Sittinger, V.; Szyszka, B.; Ulrich, St.; Pflug, A.; Ruske, F.; Dewald, W.: Übersicht über die Einsatzgebiete und Anwendungen von transparenten leitfähigen Oxiden (TCOs). Galvanotechnik 101 (2010), p. 2870-2879

Abstract:
Bei den transparenten leitfähigen Schichten handelt es sich um eine besondere Materialklasse, da mit der Transparenz und der elektrischen Leitfähigkeit zwei im Prinzip gegensätzliche physikalische Eigenschaften vorliegen. Die Schichten zeichnen sich in der Regel durch eine gute Abriebbeständigkeit aus. Sie werden seit einigen Jahren in der Elektronik und heute auch für Dünnschichtsolarzellen eingesetzt. Derzeit findet die Herstellung vor allem mit Vakuumverfahren statt. Daneben kommen aber auch Techniken wie Sol-Gel-Abscheidung zum Tragen.